有限会社 新島真空工業研究所

真空装置と組み合わせて使用する電気炉や、チャンバーの開閉機構、基板回転機構、特殊な冶具なども装置に合わせて設計製作いたします。電気炉は定値制御だけでなく、昇温プログラムにも対応可能です。その他にもデバイスの温度特性評価等に使用できるペルチェユニットなどの製作も行なっております。

ペルチェモジュール コントローラ	ペルチェモジュール
-40℃～100℃程度まで温度制御が可能な水冷式のペルチェモジュールとコントローラです(写真では真空状態で-50℃まで冷却されています)。真空中またはガス置換状態(低温時に降霜させないため)でデバイスの温度特性を評価するために使用しました。ペルチェモジュールは真空チャンバーに導入するためのフランジ付、ステージ径はφ60mmです。