真空装置メンテナンス » 真空装置 改造

既存の設備を改造してコストを抑えたい、既存の装置にこんな機能を追加したい、既存設備のポンプや部品を流用して装置を作りたい、中古装置を改造して使いたい等、真空装置の改造も承ります。他社装置でもご相談に応じます。

改造例

  • チャンバー内圧力制御機構の追加
  • 中古蒸着装置のオーバーホール+冶具製作
  • 排気速度アップのためにメカニカルブースタポンプ追加
  • 油拡散ポンプ→ターボ分子ポンプに交換
  • チャンバーにポートを追加(SUSチャンバーに穴開け・配管溶接)

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その他、真空に関することは何でもご相談ください

電話048-523-8202
FAX048-525-6195

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